在數(shù)控機(jī)床的故障檢測(cè)過(guò)程中，借助一些必要的儀器是必要的，儀器能從定量分析角度直接反映故障點(diǎn)狀況，起到?jīng)Q定作用。
一、測(cè)振儀器
測(cè)振儀是振動(dòng)檢測(cè)中最常用、最基本的儀器，它將測(cè)振傳感器輸出的微弱信號(hào)放大、變換、積分、檢波后，在儀器儀表或顯示屏上直接顯示被測(cè)設(shè)備的振動(dòng)值大小。為了適應(yīng)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試的要求，測(cè)振儀一般都做成便攜式與筆式測(cè)振儀，測(cè)振儀外形如圖1-18所示。
測(cè)振儀用來(lái)測(cè)量數(shù)控機(jī)床主軸的運(yùn)行情況、電動(dòng)機(jī)的運(yùn)行情況，甚至整機(jī)的運(yùn)行情況，可根據(jù)所需測(cè)定的參數(shù)、振動(dòng)頻率和動(dòng)態(tài)范圍，傳感器的安裝條件，機(jī)床的軸承型式(滾動(dòng)軸承或滑動(dòng)軸承)等因素，分別選用不同類型的傳感器。常用的傳感器有渦流式位移傳感器、磁電式速度傳感器和壓電加速度傳感器。也是有效的，這些專用的
目前常用的測(cè)振儀有美國(guó)本特利公司的TK-81、德國(guó)申克公司的VIBROMETER-20、日本RI-0N公司的VM-63以及一些國(guó)產(chǎn)的儀器。
測(cè)振判斷的標(biāo)準(zhǔn)，一般情況下在現(xiàn)場(chǎng)最便于使用的是絕對(duì)判斷標(biāo)準(zhǔn)，它是針對(duì)各種典型對(duì)象制定的，例如國(guó)際通用標(biāo)準(zhǔn)ISO2372和ISO3945。
相對(duì)判斷標(biāo)準(zhǔn)適用于同臺(tái)設(shè)備。當(dāng)振動(dòng)值的變化達(dá)到4dB時(shí)，即可認(rèn)為設(shè)備狀態(tài)已經(jīng)發(fā)生變化。所以，對(duì)于低頻振動(dòng)，通常實(shí)測(cè)值達(dá)到原始值的1.5～2倍時(shí)為注意區(qū)，約4倍時(shí)為異常區(qū)；對(duì)于高頻振動(dòng)，將原始值的3倍定為注意區(qū)，約6倍時(shí)為異常區(qū)。實(shí)踐表明，評(píng)價(jià)機(jī)器狀態(tài)比較準(zhǔn)確可靠的辦法是用相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)。
二、紅外測(cè)溫儀
紅外測(cè)溫是利用紅外輻射原理，將對(duì)物體表面溫度的測(cè)量轉(zhuǎn)換成對(duì)其輻射功率的測(cè)量，采用紅外探測(cè)器和相應(yīng)的光學(xué)系統(tǒng)接收被測(cè)物不可見(jiàn)的紅外輻射能量，并將其變成便于檢測(cè)的其他能量形式予以顯示和記錄，紅外測(cè)溫儀外形如圖1-19所示。
按紅外輻射的不同響應(yīng)形式，分為光電探測(cè)器和熱敏探測(cè)器兩類。紅外測(cè)溫儀用于檢測(cè)數(shù)控機(jī)床容易發(fā)熱的部件，如功率模塊、導(dǎo)線接點(diǎn)、主軸軸承等。主要制造廠商有中國(guó)昆明物理研究所的HcW系列，中國(guó)西北光學(xué)儀器廠的HCW-1、HCW-2，深圳江洋光公司的IR系列，美國(guó)LAND公司的CYCLOPS、SOLD型。
利用紅外原理測(cè)溫的儀器還有紅外熱電視、光機(jī)掃描熱像儀以及焦平面熱像儀等。紅外診斷的判定主要有溫度判斷法、同類比較法、檔案分析法、相對(duì)溫差法以及熱像異常法。
三、激光干涉儀
激光干涉儀可對(duì)機(jī)床、三測(cè)機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的(位置和幾何)精度校正，可完成各項(xiàng)參數(shù)的測(cè)量，如線形位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平行度及平面度等。其次，它還具有一些選擇功能，如自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償(適用大多數(shù)控系統(tǒng))、機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估、回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定、觸發(fā)脈沖輸入輸出功能等。
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